下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台【必威·BETWAY体育】

本文摘要：据麦姆斯咨询报导，近日，领先的微机电系统（MEMS）和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展览”上展出了用作研发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。

据麦姆斯咨询报导，近日，领先的微机电系统（MEMS）和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展览”上展出了用作研发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新的平台拓展了Micralyne现有的标准MEMS模块，并为设计人员获取了构建当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。构建微型冷却板的金属氧化物气体传感器，芯片尺寸为1.6mmx1.6mm金属氧化物气体传感器组件气体传感器市场正在再次发生巨大变化，主要由大量的消费类不应驱动发展，例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿着设备，构建周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战，如成本大幅度上升、功率较低、选择性提升、有所不同类型的气体检测，以及较宽的工作温度。

“Micralyne早已看见了亚太地区客户对小型气体传感器的市场需求快速增长，为了加快客户的产品设计，我们研发了一套标准工艺，可以较慢构建气体传感器的量产，这主要归功于我们在气体传感结构方面的非常丰富经验，以及十多年的薄膜流量传感器的量产经验。”Micralyne技术副总裁CollinTwanow说，“我们很高兴需要与日本合作伙伴Adamant一起展出MEMS技术平台。

”Micralyne的MEMS技术平台获取MEMS设计的模块化方法，并通过半自定义设备较慢构建产品原型研发，加速度量产工程进度，但会壮烈牺牲产品的质量和一致性。Micralyne从2006年开始就获取标准工艺和MEMS模块，希望减少MEMS研发成本，延长MEMS产品上市时间。

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